공정 핵심장비 ‘융복합장치’ 등 6종 추가, 공정 통합 실습 가능
[천지일보 천안=박주환 기자] 한국기술교육대학교(총장 유길상)가 반도체 제조공정·장비교육 과 실습 공간인 ‘클린룸’(clean room)에 6종의 장비를 추가 구축, 재직자 및 직업훈련교·강사 등을 대상으로 보다 체계적인 반도체 전문인력 양성에 나선다.
클린룸은 반도체소자나 집적회로 등 정밀 전자부품을 제조하기 위해 미세먼지를 제거한 청정실이다.
추가 장비는 반도체소자 제조를 위한 FAB 공정 핵심 장비인 ▲융복합장치(PECVD/PEALD) ▲ 전기로(Furnace) ▲복합 스퍼터(Sputter) ▲노광기(Aligner System) ▲습식세정장비(Wet-Station) ▲공기조화기(AHU System) 등이다.
한기대는 지난 2010년 신성장 동력산업 인력양성을 위해 클린룸을 건립해 양산용 PECVD, PVD 등 50여종 100억원 상당의 장비가 초기 가동돼 반도체 제조 공정실습 전문시설로 주목을 받았다.
250평 면적의 한기대 클린룸은 CLASS 1000 등급(0.5마이크로 이상 크기의 입자수가 1입방 피트 중 1000개 이하인 청정 공간)이며 반도체제조공정실, 솔라셀제조공정실, Utility실, 공조실 등으로 구성돼 있다.
클린룸은 2010년 설립 당시부터 학부생(메카트로닉스공학부, 전기·전자·통신공학부, 에너지신소재화학공학부 등) 대상으로 반도체 관련 교과목 수업을 진행했다. 직업훈련교·강사, 특성화고 교사, 산업체 재직자를 대상으로도 반도체 및 솔라셀(태양전지) 제조공정 및 장비에 대한 교육을 운영해 왔다. 현재 연간 1000여명이 클린룸에서 교육을 받고 있다.
이진구 능력개발교육원장은 “연구 동향에 따르면 국내 반도체 인력은 2031년 30만 4000명이 필요하지만 실제로는 5만 4000여명이 부족할 것으로 예상되는 만큼 반도체 인력 양성은 중요한 사회적 과제”라며 “재학생뿐 아니라 직업훈련기관, 직업계고, 재직자 등 대상으로 맞춤형 인재를 양성하는 데 더욱 주력하겠다”고 말했다.